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气浮平台的构成说明

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气浮渠道是光刻机贴片机等电子制作设备的首要工作机构。伴随着电子产品的出产,产品的体积越来越小,对精度的要求越来越高。所以,高精度、高稳定性的移动渠道对于电子设备的发展有着无足轻重的效果。别的,微电子体系制作和测验、光学丈量加工、超精细加工、航空发动机丈量制作等领域都离不开精细定位技术。由于空气轴承精度比滚动轴承高两个数量级,且精度高,摩擦系数小,工作环境极限,选用气浮台方案是精细运动渠道设计的理想挑选。


气浮渠道分为气浮直线渠道与气浮转台,由气浮导轨或气浮轴承导向,直驱电机驱动及光栅尺闭环反应组成气浮渠道。直驱运动不存在中心传动环节,提高渠道的全体精度,运转速度平稳。负载惯量和体系带宽相对较大,有良好的动态特性。


基于空气轴承的基本原理,完成无摩擦和无振荡的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点。同时还具有差错均化效果,来获得较高的导向精度。气浮导轨在丈量设备、精细机械中得到了广泛的使用。气浮渠道在气体光滑的体现上看,承载才能、气体流量均有超常规体现,特别是关键的性能指标位移精度上,相对于传统导轨有着成数量级的明显优势,精细机械、丈量仪器等领域使用气浮导轨是行业发展的必然趋势。


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