1、精度

气浮运动台的高直线度和平面度依赖于气浮导轨，原料分为铝合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高压气膜的压力分布、气源压力、节流器、均压槽深度等，找到了比较气膜刚度时的参数区间有着超卓的功能精度，实现比较大速度2米/秒，可以具有4G的加速度，而且承载的能力也十分的超卓，所以在目前的市场上现已逐渐得到我们的认可，仅仅当我们在挑选设备时，或许也会存在许多的疑问，比如说要挑选哪种原料的气浮导轨。

2、原料

其实原料的挑选是跟用户的使用有着紧密的联络，单从性价比角度了解，碳化硅陶瓷原料的气浮运动台精度高，当然本钱也贵重，铝合金与大理石原料的相同功能比较，铝合金的加工难度大些，本钱较高，大理石的本钱较便宜些。

3、直线电机

利用的直线电机驱动，挑选无铁芯规划，特点是无齿槽效应，高动态功能及电流噪音小等，所以在运动的过程中可以实现超平稳的效果，另外装备光栅尺闭环反应及优良性的控制系统，取得高定位精度和重复定位精度，控制器对光栅尺比较大65536倍细分，取得纳米级微动步距。