随着半导体进入到快速开展的阶段，相应的加工检测设备也会逐步的进步功能，所以有许多的公司都会用到气浮运动台，这是一款高精度的设备，首要作用于半导体加工、检测，微纳加工，测验丈量等，可是它到底有哪一些首要的优势。

高直线度和平面度

高定位精度和重复定位

运动速度平稳

纳米级微动步距

气浮运动台的高直线度和平面度依赖于气浮导轨，材质分为铝合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高压气膜的压力分布、气源压力、节流器、均压槽深度等，找到了较优气膜刚度时的参数区间有着超卓的功能精度，实现较大速度2米/秒，可以拥有4G的加速度，并且承载的能力也非常的超卓，所以在现在的市场上已经逐步得到我们的认可，只是当我们在挑选设备时，或许也会存在许多的疑问，比如说要挑选哪种材质的气浮导轨。

其实材质的挑选是跟用户的使用有着紧密的联系，单从性价比角度了解，碳化硅陶瓷材质的气浮运动台精度高，当然本钱也昂贵，铝合金与大理石材质的相同功能比较，铝合金的加工难度大些，本钱较高，大理石的本钱较便宜些。

利用的直线电机驱动，挑选无铁芯设计，特点是无齿槽效应，高动态功能及电流噪音小等，所以在运动的过程中可以实现超平稳的效果，别的配置光栅尺闭环反馈的控制系统，取得高定位精度和重复定位精度，控制器对光栅尺较大65536倍细分，取得纳米级微动步距。

所以从各个方向的优势来看，气浮运动台已经成为当时从事高精密使用职业的挑选，可以进步整个系统的精度功能。